全国DOI：10.1038/s41467-023-40150-y。

同时，首次施使用电子束光刻也在低剂量下获得了45nm的密集图形，揭示了这种方法在高分辨率图形化中的巨大潜力。这种通过实现超高功能性材料设计而促进的新方法能够在极低的深紫外暴露剂量（例如7.5mJcm–2）下对含金属纳米团簇进行高对比度成像，电力电这与传统的光刻胶体系相比所需曝光剂量低10-20倍。

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硫醇-烯反应作为一种光引发的自由基加成反应，场实由于其极高的效率，在化学领域被广泛称为点击化学。全国光刻胶是集成电路芯片大规模制造的关键材料

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